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As coberturas antirrefletoras (ARC) em fotolitografia são...

As coberturas antirrefletoras (ARC) em fotolitografia são utilizadas para

A
reduzir as ondas estacionárias em fotorresistes.

B
reduzir a dose do UV nos fotorresistes.

C
diminuir a espessura dos fotorresistes.

D
reduzir a sensibilidade dos fotorresistes.

E
atuar como filtros de UV em fotorresistes.