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Quais as reações que ocorrem durante o Prebake ?
Quais as reações que ocorrem durante o Prebake ?
A
O endurecimento do fotorresiste para resistir as corrosões por plasma.
B
A homogenização do fotorresiste e o aumento da sensibilidade.
C
A degradação do fotorresiste e sua posterior remoção.
D
A remoção do solvente, a adesão do fotorresiste e a ativação do foto-ácido.
E
A transição vítrea do polímero.