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O que é modo de contato em fotolitografia?
O que é modo de contato em fotolitografia?
A
É o método utilizado para dupla exposição do fotorresiste sem perda de definição.
B
É o modo de exposição em que o substrato fica em contato íntimo com a máscara litográfica.
C
É o método de geração de imagem na superfície do fotorresiste com posterior difusão do solvente.
D
É o modo no qual a máscara litográfica é colocada próxima a fonte de UV.
E
É o uso de sistemas litográficos com fixação do substrato por vácuo no chuck da alinhadora.