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A oxidação térmica do silício tem como finalidade I –...

A oxidação térmica do silício tem como finalidade

I – formar máscaras que impedem a implantação iônica e a difusão de dopante no silício (Si).

II – auxiliar na conexão de circuitos, dada a alta condutividade do dióxido de silício (SiO2).

III – a passivação da superfície do wafer.

Assinale a alternativa correta.

A
I, II e III estão corretas.

B
Apenas II e III estão corretas.

C
Apenas I e III estão corretas.

D
Apenas I e II estão corretas.

E
Apenas II está correta.