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O processamento térmico rápido (RTP) é usado para:

O processamento térmico rápido (RTP) é usado para:

A
A obtenção de junções rasas.

B
A ativação de dopantes em porta de Si –policristalino.

C
A silicetação.

D
A obtenção de óxido de porta ultra-fino.

E
Todos os processos citados nas alternativas acima podem ser executados com o processamento térmico rápido.