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Uma técnica metrológica de grande importância em...
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Q700608
Teclas de Atalhos
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Uma técnica metrológica de grande importância em microfabricação é a microscopia de força atômica.
Com relação ao uso dessa ferramenta em microeletrônica NÃO se pode afirmar o seguinte:
A
Medidas com resolução de profundidade de até 0,01nm são possíveis.
B
AFM é usada para medir a rugosidade da superfície de wafers de Si.
C
A interação da sonda com a amostra pode danificar tanto a amostra quanto a sonda.
D
As sondas tem elevadíssima razão de aspecto, o que permite obter imagens de objetos nanométricos.
E
A resolução lateral é limitada pelo mecanismo piezoelétrico de varredura.