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Nos dias atuais, o microscópio eletrônico de varredura (MEV) é um instrumento de imagem poderoso e eficaz. Ele é usado para “varrer” a superfície em ampliações que vão desde 1 μm até 1 nm, dependendo do hardware usado e sistema de vácuo. Um MEV é integrado com espectrômetro de energia dispersiva para incorporar o potencial de análise elementar na superfície da amostra. O “coração” de um MEV é:
Feixe de íons.
Feixe de prótons.
Feixe de partículas alfa.
Feixe de elétrons.
Feixe de raios X.