Imagem de fundo

Questão de Engenharia Química

Imagem associada para resolução da questão

A
Apenas a ligação Si-F é maior que a ligação Si-O, portanto apenas SF6, dentre os gases disponíveis, corroerá silício.

B
SF6 é gás mais adequado para a corrosão de alumínio.

C
A corrosão de alumínio por Cl2 não ocorre pois o produto da reação não se volatiliza no processo.

D
O óxido nativo do alumínio não permite que HBr seja usado como gás corrosivo para esse metal.

E
Cl2 é usado em RIE de silício, pois o óxido é removido pelo bombardeio dos íons, e o produto da reação é volátil.